ಅರೆವಾಹಕ (FAB) ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಗುರಿ ಮೌಲ್ಯ

ಅರೆವಾಹಕ (FAB) ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಗುರಿ ಮೌಲ್ಯವು ಸರಿಸುಮಾರು 30 ರಿಂದ 50% ರಷ್ಟಿದ್ದು, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ವಲಯದಲ್ಲಿ - ಅಥವಾ ದೂರದ ನೇರಳಾತೀತ ಸಂಸ್ಕರಣಾ (DUV) ವಲಯದಲ್ಲಿ ಇನ್ನೂ ಕಡಿಮೆ - ±1% ನಷ್ಟು ಕಿರಿದಾದ ದೋಷದ ಅಂಚುಗೆ ಅವಕಾಶ ನೀಡುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಬೇರೆಡೆ ಇದನ್ನು ±5% ಗೆ ಸಡಿಲಿಸಬಹುದು.
ಏಕೆಂದರೆ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಹಲವಾರು ಅಂಶಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:
1. ಬ್ಯಾಕ್ಟೀರಿಯಾದ ಬೆಳವಣಿಗೆ;
2. ಸಿಬ್ಬಂದಿಗೆ ಕೊಠಡಿ ತಾಪಮಾನದ ಸೌಕರ್ಯ ಶ್ರೇಣಿ;
3. ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಚಾರ್ಜ್ ಕಾಣಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ;
4. ಲೋಹದ ತುಕ್ಕು;
5. ನೀರಿನ ಆವಿಯ ಘನೀಕರಣ;
6. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಅವನತಿ;
7. ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ.

ಬ್ಯಾಕ್ಟೀರಿಯಾ ಮತ್ತು ಇತರ ಜೈವಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು (ಅಚ್ಚುಗಳು, ವೈರಸ್‌ಗಳು, ಶಿಲೀಂಧ್ರಗಳು, ಹುಳಗಳು) 60% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆ ಇರುವ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬೆಳೆಯಬಹುದು. ಕೆಲವು ಬ್ಯಾಕ್ಟೀರಿಯಾ ಸಮುದಾಯಗಳು 30% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯಲ್ಲಿ ಬೆಳೆಯಬಹುದು. ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು 40% ರಿಂದ 60% ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು ಎಂದು ಕಂಪನಿ ನಂಬುತ್ತದೆ, ಇದು ಬ್ಯಾಕ್ಟೀರಿಯಾ ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ಸೋಂಕುಗಳ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

40% ರಿಂದ 60% ರವರೆಗಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಮಾನವನ ಸೌಕರ್ಯಕ್ಕೆ ಮಧ್ಯಮ ಶ್ರೇಣಿಯಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಜನರನ್ನು ಉಸಿರುಕಟ್ಟುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಆದರೆ 30% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಜನರನ್ನು ಒಣ ಚರ್ಮ, ಬಿರುಕು ಬಿಟ್ಟ ಚರ್ಮ, ಉಸಿರಾಟದ ತೊಂದರೆ ಮತ್ತು ಭಾವನಾತ್ಮಕ ಅತೃಪ್ತಿ ಅನುಭವಿಸುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಶುಲ್ಕಗಳ ಸಂಗ್ರಹವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ - ಇದು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಫಲಿತಾಂಶ. ಕಡಿಮೆ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಚಾರ್ಜ್ ಸಂಗ್ರಹಣೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಯ ಸಂಭಾವ್ಯ ಹಾನಿಕಾರಕ ಮೂಲವಾಗಿದೆ. ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 50% ಮೀರಿದಾಗ, ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಶುಲ್ಕಗಳು ವೇಗವಾಗಿ ಕರಗಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 30% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದಾಗ, ಅವು ಅವಾಹಕ ಅಥವಾ ನೆಲವಿಲ್ಲದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಉಳಿಯಬಹುದು.

35% ಮತ್ತು 40% ನಡುವಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು ತೃಪ್ತಿದಾಯಕ ರಾಜಿಯಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಶುಲ್ಕಗಳ ಸಂಗ್ರಹವನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸಲು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ನಿಯಂತ್ರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ.

ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಹೆಚ್ಚಳದೊಂದಿಗೆ ತುಕ್ಕು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಅನೇಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳ ವೇಗ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯ ಸುತ್ತಲಿನ ಗಾಳಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಎಲ್ಲಾ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತವೆ.